微型电子机械系统（MEMS）是一种利用微纳技术制造微小尺寸机械和电子元件的技术。它将微机械和微电子技术结合在一起，能够在微米或纳米尺度上制造出微型传感器、执行器和微结构平台。MEMS技术已经广泛应用于诸多领域，如医疗、通讯、汽车、航空航天等，为现代科技和工程领域的发展做出了重要贡献。

MEMS技术的资料和应用领域可谓是多种多样。其中，MEMS传感器在汽车领域可以用于测量汽车的速度、加速度、温度等物理参数，从而实现对车辆行驶状态的监测和控制；在医疗领域，MEMS技术可以制造微型生物传感器，用于检测血糖、血压等生理指标，实现智能医疗监测与诊断；在通讯领域，MEMS技术可以应用于制造微型声波传感器，用于电话和音频设备中的噪声消除和干扰防止。

此外，MEMS技术还被广泛应用于航空航天领域，例如制造微型惯性导航系统和气压传感器，用于飞行器的导航和稳定控制。同时，MEMS技术还在军事领域发挥着重要作用，如制造微型惯性导航仪器和生物传感器，用于士兵定位和生化危险物质检测。

总的来说，MEMS技术的资料和应用领域十分广泛，是当今科技领域的发展热点之一。随着技术的不断进步和创新，MEMS技术将继续在各个领域发挥着重要作用，为人类社会的发展和进步带来新的机遇和挑战。